产品概要

H12探针台具有优异的机械性能和的测试功能，其卡盘移动技术，可满足客户对整片晶圆高效测试的需求；同时基于UPStart™模块化开放式设计，H系列可搭配不同的套件实现更宽泛的测试功能，H系列6" 8" 12"探针台非常适合研发类实验室的一次性预算购置。

基本信息

应用方向

DC 直流/（I-V、C-V）测试、低电流（100fA 级）测试、1/f 噪声测试、FA 失效分析测试、器件表征测试、WLR 可靠性、老化测试、RF 射频测试、大功率/大电流及/大电压测试等。

技术特点

• 气控式卡盘移动技术（Chuck Air bearing move)

气控式移动平台具备快速移动卡盘功能，满足高效手动测试需要。通过对应的气浮开关，提供3种快速移动方式：单手控制X/Y方向快速移动，双手控制样品台全平面快速移动。传统的滚珠/轴承式样品台仅能实现X/Y轴单向运动，而且移动速度较慢；普通的气浮式样品台虽然能够实现样品台全平面快速移动，却不能实现X/Y轴单向精准移动定位，满足生产实测需要。而3重气控式样品台完美的结合并实现了以上两种功能。

• 显微镜气控式升降调节

显微镜采用气控式调节可实现50mm升降，通过高品质阀门控制，高压空气进出节流精细调节，实现显微镜平稳的升降，实现方便更换物镜的同时，更好的防护物镜与夹具在测试中的意外接触损伤。

• 三段式升降针座平台

针座平台升降：快速（0，300um,3mm）+微调(40mm,移动分辨率2~5um)，Platen所有部分能够同时升降（不存在不同时的现象），升起回落后探针在pad上针痕的x,y,z三个方向的重复性优于±1um，可重复（1μm）的针座平台有三个离散位置，用于接触，分离（300μm）和装载（3mm），并带有安全锁装置，可防止探头或晶圆意外损坏的同时，提供直观的控制和准确的接触定位，实现很准确的测量效果，该功能在高频与大功率测试中至为重要。

• 气浮式自动平衡防震桌

台面采用10CR17优质高导磁不锈钢加工的蜂窝状支撑结构。防震系统采用进口韩国大一公司的空气弹簧式支撑架的防震平台。通过空气弹簧的形状、材质、弹簧室的容积及补助罐容积、阻尼孔径和水平调节阀等一系列减震设计，实现该系统垂直本征频率为1.5Hz，水平本征频率为1.2Hz的低频固有频率，承重达400Kg的优异承载能力。从而有效避免细微低频率频带的振动给测试带来的不利影响。

• 大手柄微分头驱动

卡盘移动平台配有粗调与精调功能，精调旋钮采用业界顶级的日本Mitutoyo大手柄驱动微分头，相比于传统的小型微分头调节，操作手感更舒适、调节更顺畅且无回程差，真正实现超顺滑的手动高效测试，全面提升测试效率，节约客户测试成本。

• 可加载激光器

多波段激光切割系统能够加载在绝大多数应用于失效分析的显微镜上，可以实现微观层面的精确切割和选择性材质去除。精密可靠的先进激光传输系统(ABDS)可以选择不同波段应对不同材料裁剪和切割工作。镭射输出能量≥2.7mJ,能量可调整级数≥300。水循环冷却结构使系统更小巧和方便维护。