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SC系列探针台
产品概要
C12高低温探针台具有优异的机械系统，结构性能稳定，人体工程学设计，操作便捷，支持多功能升级，功能丰富全面。该产品主要应用于集成电路，LED，LCD，太阳能电池，半导体行业的制造和研究领域。
基本信息
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产品型号 |
C12 |
工作环境 |
高低温环境 |
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电力需求 |
220VC,50~60Hz |
操控方式 |
手动 |
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产品尺寸 |
1400mm*920mm*920mm |
设备重量 |
150KG/170KG/250KG |
应用方向
高低温环境下，LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，材料/器件的I-V/C-V特性测试、0.2微米以上芯片内部线路/电极/PAD测试、高频、射频测试等
| 规格 | SC-6 | SC-8 | SC-12 | |
| 外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1400mm*920mm*920mm | |
| 重量 | 150公斤 | 约170公斤 | 约250公斤 | |
| 电力需求 | 220VC,50~60Hz | |||
| 样品台 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋转 | 8英寸，可360度旋转 | 12英寸，可360度旋转 |
| 行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12英寸*12英寸 | |
| 移动精度 | 1um | |||
| 切换样品功能 | 样品台快速拉出 | |||
| 样品固定方式 | 真空吸附 | |||
| 电学运用 | 电学独立悬空，可作为背电极使用 | |||
| 针座平台 | 规格 | O型平台，可放置8个针座 | O型平台，可放置10个针座 | O型平台，可放置12个针座 |
| 行程&调节方式 | 平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降精度1um | |||
| 温控特性 | 温度范围 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ |
| 温控精度 | 温度分辨率 ： 0.01°C | |||
| 加热电源 | LVDC 低压直流 | |||
| 很低控温速率 | ±0.1°C /小时 | |||
| 制冷方式 | 液氮制冷 | |||
| 光学特性 | 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm | ||
| 切换镜头方式 | 显微镜气动升降 | |||
| 放大倍数 | 16~100X/20~4000X | |||
| 镜头规格 | 目镜：10X；物镜：5X,10X,20X,50X,100X（选配） | |||
| CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | |||
| 点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | ||
| 机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | |||
| 漏电精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱时） | |||
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA/K接口 | |||
| 应用方向 | 高低温环境下，LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，射频测试等。 | |||
| 可选附件 | 探针卡夹具 | 防震台 | 低电流/电容测试 | |
| 显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件 | 镀金卡盘 | 光纤夹具耦合测试选件 | ||
| 同轴叁轴卡盘 | 封装器件夹具 | |||
| 射频测试附件 | 光强/光谱/波长测试选件 | PCB/封装夹具测试选件 | ||
| 高压/大电流测试套装 | 有源探头 | 特殊定制 | ||
| 屏蔽箱 | 转接头 | |||
| 特点 | ||||
| 非真空环境下的低温测试，可达-100℃ | 大手柄驱动，操作舒适，无回程差设计 | |||
| 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动 | 0.2微米以上芯片内部线路/电极/PAD测试 | |||
| 高等院校/研究所/公司实验室使用 | LD/LED/PD的光强/波长测试 | |||
| 支持12英寸以内样品测试 | 材料/器件的IV/CV特性测试 | |||
| 同轴丝杠传动结构，线性移动 | 器件的高频特性(支持高至300GHz频率) | |||
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