产品概要

CG高低温真空探针台是SEMISHARE多年来技术积累的创新成果，同时SEMISHARE也是国内较早自主研发推出的高低温真空探针台，CG高低温真空探针台能够实现样品在真空高低温环境下的精确电性、光强、波长、磁场等测试。2016年，SEMISHARE参与由哈工大和中国航天科技集团共建的“空间环境地面模拟装置”部分技术设计项目，其在超低温，超高真空，自动控制，激光模拟方面发挥着独有的技术优势。

基本信息

应用方向

CG高低温真空探针台在高低温真空环境下的芯片测试、LD/LED/PD测试、光纤光谱特性测试、材料/器件的I-V/C-V特性测试、霍尔测试、电磁输运特性、高频特性测试等。

技术特点

一、真空腔体

真空腔体采用外腔和屏蔽腔双腔体结构，为样品测试提供极限压力为10-4Pa的真空环境。低温测试时，避免空气中的水蒸气在样品上凝结成露水，从而避免漏电过大或探针无法接触电极而使测试失败。同时，由于真空绝热作用可是有效的提供制冷效率。高温测试时，避免了空气中的氧气氧化样品，从而避免样品电性误差、物理和机械上的形变。

二、探针臂XYZ调节机构

探针臂XYZ调节机构采用了自锁丝杠和交叉滚子导轨的结构，实现了探针定位精确为10um，探针漂移量优于±60nm/30mins的高精度点针。同时，采用三轴管状夹具和高屏蔽功能的三轴线缆，从而实现测试漏电精度达50FA。

三、探针热沉设计，定位更精准

SEMISHARE直流探针臂均配有两次热沉设计，第一次探针臂热沉在防辐射屏上、第二次探针通过陶瓷夹具热沉在样品台上。SEMISHARE的热沉设计能够有效的降低探针臂与测试器件的温差，提高了测试数据的精确性。

四、显微镜调节机构

显微镜调节机构通过调节支撑架的伸缩、高低以及显微镜自带调节座，可观测样品任意区域。20倍目镜和0.8倍-5倍的物镜变焦倍率，从而实现样品16X-100X的放大倍率。

五、制冷剂流量调节系统

制冷剂调节系统由杜瓦罐、压缩氮气压力控制阀及精密调节的针阀组成。控制低温时，通过调节压缩氮气压力控制阀来调节杜瓦罐中的压力，从而控制制冷剂流出的压力，继而调节制冷剂的流量；通过调节精密针阀进而精密控制制冷的流量，最终实现精准的低温控温功能。

六、制冷剂同轴回路

制冷剂同轴回路使制冷剂从中间进入管路进入样品台，流经屏蔽腔底板腔室，在回流至同轴回路外层回流管中，最后通过排气口排放到室外。制冷剂同轴回路使得制冷剂在排出的过程中加以利用，营造相对室温低很多的环境，抑制了进入样品台的制冷剂的提前消耗，从而提高制冷剂的制冷效率，较少制冷剂的消耗。

七、防震平台

防震系统采用进口韩国大一公司的空气弹簧式支撑架的防震平台。通过空气弹簧的形状、材质、弹簧室的容积及补助罐容积、阻尼孔径和水平调节阀等一系列减震设计，实现该系统垂直本征频率为1.5Hz，水平本征频率为1.2Hz的低频固有频率，承重达400Kg的优异承载能力。从而有效避免细微低频率频带的振动给测试带来的不利影响。