工件尺寸6英寸和8英寸，

晶圆厚度150-800μm，

膜类型：蓝膜和UV膜，膜厚度0.05-0.2mm，膜长度≤100m，膜宽度270-330mm，工作台防静电特氟龙处理，

效率：80片/小时，

供气：0.5MPa洁净干燥压缩空气，

供电：220V，10A。

外形尺寸（宽深高mm）：360*860*560，

重量50KG。