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LF PLASMA系列
产品概况
厂家:天科创达
产地:中国
专为实验室设计,适用材料清洁与活化
可用于处理各种高分子材料,金属,玻璃等表面
规格参数
设备型号 | PT-03-LF | PT-05-LF | PT-08-LF |
真空腔体 | Φ130mm; D160mm | Φ150mm; D260mm | Φ210mm; D260mm |
射频电源 | 100W;40KHz | 200W;40KHz | 100W;40KHz |
150W;13.56MHz | 150W;13.56MHz | ||
真空计 | 1×10-2~1×105 | 1×10-2~1×105 | |
流量计 | 1通道浮子流量计 | 2通道浮子流量计 | 2通道MFC |
工艺气体 | 氧气,氩气,氢气,氮气等 | ||
控制方式 | 半自动 | 手动/自动 | 手动/自动 |
人机界面 | 7寸触摸屏 | 10寸触摸屏 | |
主机尺寸 | 550(W)×450(D)×260(H) | 485(W)×650(D)×525(H) | 600(W)×800(D)×1800(H) |
真空泵 | 可选干泵或油泵 | ||
安装条件 | AC220V;50/60Hz;2Phase 3Wire;1KVA | ||
其他说明 | 有单独通风泄压通道,设备相关配置可按要求定制 |
设备特点