设备型号

PT-20-MF

PT-35-MF

PT-60-MF

真空腔体

W260mm;D300mm;H260 mm

W290mm;D350mm;H280 mm

W400mm;D400mm;H400mm

射频电源

1000W;40KHz

300W；13.56MHz

1000W;40KHz

300W；13.56MHz

1000W;40KHz

500W；13.56MHz

真空计

1×10^-2～1×10⁵

1×10^-2～1×10⁵

1×10^-2～1×10⁵

流量计

2通道MFC   （0-200sccm）

2通道MFC  （0-200sccm）

2通道MFC  （0-200sccm）

工艺气体

氧气，氩气，氢气，氮气等

控制方式

手动/自动

手动/自动

手动/自动

人机界面

10寸触摸屏

10寸触摸屏

10寸触摸屏

主机尺寸

800（W）×800（D）×1800（H）

800（W）×800（D）×1800（H）

800（W）×800（D）×1800（H）

真空泵

可选干泵或油泵

安装条件

AC220V；50/60Hz；2Phase 3Wire 或者 AC380V；50/60Hz；3Phase 5Wire

其他说明

有单独通风泄压通道，设备相关配置可按要求定制