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MF PLASMA系列
产品概况
厂家:天科创达
产地:中国
专为工厂生产设计,适用材料清洁与活化
可用于处理各种高分子材料,金属,玻璃等表面
腔体内气浴设计,工艺气体分布更加均匀
规格参数
设备型号 | PT-100-MF | PT-350-MF | PT-650-MF |
真空腔体 | W400mm;D400mm;H600 mm | W700mm;D800mm;H600 mm | W800mm;D1000mm;H800mm |
射频电源 | 500W;13.56MHz | 5KW;40KHz | 5/10KW;40KHz |
1KW;13.56MHz | |||
真空计 | 1×10-2~1×105 | 1×10-2~1×105 | 1×10-2~1×105 |
流量计 | 2通道MFC (0-200sccm) | 2-4通道MFC (0-200sccm) | 2-4通道MFC (0-200sccm) |
工艺气体 | 氧气,氩气,氢气,氮气等 | ||
控制方式 | 手动/自动 | 手动/自动 | 手动/自动 |
人机界面 | 10寸触摸屏 | 10寸触摸屏 | 15寸触摸屏 |
主机尺寸 | 800(W)×800(D)×1800(H) | 1500(W)×1300(D)×1800(H) | 1600(W)×1600(D)×1800(H) |
冷水机 | 跟随设备配套 | 跟随设备配套 | |
真空泵 | 可选干泵或油泵(真空泵组) | ||
安装条件 | AC380V;50/60Hz;3Phase 5Wire | ||
其他说明 | 有单独通风泄压通道,设备相关配置可按要求定制 |
设备特点