切割的未来
借助新架构和高级过程控制工具,与现有切割系统相比,7200可实现更高的生产率,同时将运营成本降至很低。系统提供各种高级自动化和过程监控功能,可满足严苛的切割应用要求:
- 硅
- 玻璃硅
- 微机电系统(MEMS)
- 砷化镓晶片
- 封装元件切割(BGA和QFN等)
- 低温共烧陶瓷(LTCC)
- 硬质材料
- 7200系列有三种配置,针对IC应用、封装切割或硬质材料应用进行了优化。
7200系列优点
- 独特的Wx3晶圆处理系统,简化晶圆流程,提高生产率
- 连续数字变焦视觉系统,为任何视点提供很好变焦倍率
- 特殊算法,预测刀片磨损率,减少高度测量时间,增加小时产出
- 触摸显示屏,新用户图形界面(NUI)
- 雾化晶圆清洗技术,卓越的工艺效果
- 专用磨刀台,自动磨刀
- 内置检测托盘,可执行进程内质量评估
- 独特的多面板处理能力
- 占地面积小
- 可选: 磨刀台金刚石暴露和堵塞预防