Polaris-C-4(闭循环)特点：

载物Chuck 温度范围：10K-500K        

载物chuck支持4英寸

制冷功率：1W@4.2K

探针振动抑制：< +/- 60 nm in 30 mins

双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度

可以选择射频配件可达67 GHz的射频测试

可以选择防震桌

可以选择超高真空腔体,极限真空到10-10 torr

客户订制

温控规格:  

可选附件

防震桌

内置/外置探针臂

显微镜

方形chuck

分子泵组

射频部件

Chuck可外部移动装置

高真空腔体

客户定制。