激光面板亮点修复机
型号
Flex-85
外形
3,000mm(宽) x2,500mm(长) x 2,500 mm (高 )
重量
7500KG左右
电力需求
380V,50Hz, 3Phase, approx. 50A Max
修复能力
可修复样品尺寸
3~85寸
可修复范围
显示区内任何位置
修复时间
120S左右每个像素(尺寸200um*100um的pixel)
适用产品类型
Cell段产品(OLED面板,IPS,ON-CELL/IN-CELL等TFT面板),模组段产品(已贴偏光片,带TP模组)
遮光性
修补颜色在模组背光下不可见
平台功能
Gantry结构
龙门式
X-Y-Z 行程
2000*1200*50mm
移动精度
0.1um
X-Y运动速度
0~200mm/s
Z 运动速度
0~2mm/s可调
定位
AOI坐标自动定位
光学特性
光路系统倍率
50X~ 1000X ,5X ,10X ,20X ,50X,100X Objects
物镜切换速度
0.2~0.7s
聚焦
激光自动聚焦
光学分辨率
0.7um
相机
200W/500W像素工业相机
激光特性
激光系统
激光切割系统(5~500 nj/Pluse Maximum@250KHz,20X object,532nm)
能量调节精度
0-1000 steps
0-100%
激光波长
1064nm,532nm,355nm
脉宽
500fs
光斑尺度
0.8~1.5um @100X object
1.0~3.0um @50X object
激光寿命
>10年,维护间隔>6,000小时
扫描面能量均匀性
优于5% IR
工作模式
Scan扫描式
扫描形状
可任意定义形状
工艺参数
软件可以添加任意组工艺参数
控制
工作模式
自动修复,实现数据的自动导入和输出,联机通讯
手动或者半自动修复
上下片
机械手或者流水线
CIM系统
有
减震
主动式减震系统,能够实现50X 物镜下画面不抖动
工业PC
23寸显示器&电脑:i7 处理器,1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘),8G内存,1G独立显卡,DVD-ROM
通讯接口
RS232/EtherCAT/GPIB等
安全
整机带屏蔽罩,操作人员在屏蔽罩外操作
紧急开关EMO
限位sensor,运动平台和激光系统限位互锁
Interlock报警,自动关闭系统(软件设置为可选)
应用
TFT-LCD Panel亮点的修复,OLED Panel亮点的修复
特点:
稳定的修复结果
可实现局部暗化
超快的激光
可以编辑任意修复形状
0.1um精度的直线电机平台
自动AOI定位
极小的损伤
可做多工位设计
1um的激光精度
自动上下片