LCVD激光修复机

产品概要

LCVD面板激光修复机主要是为LCD显示屏的工艺不良及缺陷而设计的自动化修复设备。设备以SEMISHARE领先的机器视觉系统为核心，能为LCD成品\半成品的显示屏缺陷提供高精度修复且低成本的解决方案，更大程度的提升企业经营效率。

基本信息

产品型号	LCVD-G6 \| LCVD-G8.5	工作环境	开放式
电力需求	380V，50Hz,3Phase,approx.40AMax / 380V，50Hz, 3Phase, approx.60A Max	操控方式	全自动
产品尺寸	2,850mm(宽)x2,500mm(长)x2,500 mm(高)	设备重量	约7500KG

应用方向

TFT-LCD和OLED Array Panel线路开路和短路的修复，Mask的缺陷修复

技术特点

产品特点

高倍率光学影像识别，自动校准聚焦
激光系统可视化操作，大大提高修复效率
直线电机结构，1um激光精度，高速静音
自动AOI定位，自动上下片
丰富的软件测试功能，机械系统高精度校准
修复形状可编辑，可多工位设计
领先的内部防震系统装置，运行更稳定
电学屏蔽系统，屏蔽光线和电磁干扰

型号		LCVD-G6	LCVD-G8.5
外形		2,850mm(宽)x2,500mm(长)x2,500 mm(高)	4,000mm(宽)x3,500mm(长)x2,500 mm(高)
重量		约7500公斤	约10500公斤
电力需求		380V，50Hz, 3Phase, approx. 40A Max	380V，50Hz, 3Phase, approx.60A Max
可修复产品尺寸		长宽≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm	长宽≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm
修复能力	沉积材质	W,Cr,Mo,Al	激光特性	激光系统	DPSS激光切割系统
	沉积线路速度	5~10um/s(厚度5000 Å)			CW激光沉积系统
	单处缺陷修复时长	定位后，修复单处缺陷时间在5s左右		能量调节精度	0-1000 steps
	工艺参数	软件可以添加任意组工艺参数			0-100%
	Cutting宽度	2um到50um可调		Slit 窗口调节大小	0~2.4mm
	沉积宽度	3um到30um可调		Slit 窗口控制精度	1um
	沉积边缘精度	+-0.5um		激光能量校准方式	自动校准
	沉积厚度	2000 Å ~15000Å可调		校准时间	3mins
	沉积线路的电阻值	<65欧姆 (宽度5um, 长度50um,厚度5000 Å)		激光能量校准精度	优于2%
	沉积稳定性	1.清洗机清洗次数>10 times		激光波长	Cut Laser :IR 1064nm，GRN 532nm，UV 266nm
		2.棉签蘸丙酮擦拭>500次			CVD CW laser :NUV/UV
		3.强酸碱测试>1H		脉宽	< 12 ns
		3.毛刷擦拭>1H		光斑尺度	2.0~ @50X object 1064nm (在标准mask上测试)
		4.超声波1MHZ>1H		扫描面能量均匀性	优于5% IR
平台功能	Gantry结构	龙门式		激光寿命	Cut Laser:10亿次激发
	X-Y-Z运动行程	LCVD-G6 1500 185058mm(X-Y-Z)			CVD CW laser: 8000小时
		LCVD-G8.5 2500 220058mm(X-Y-Z)		修复工作模式	Scan扫描式和 Step模式
	X-Y运动速度	0~400mm/s可调		扫描路径	可任意定义路径
	精度(移动量)	0.1um	控制	工作模式	自动修复，实现数据的自动导入和输出，联机通讯手动或者半自动修复
	Z 运动速度	0~2mm/s可调
	高精度	0.1um		上下片	机械手或者流水线
	重复定位精度	+-5um		CIM系统	有
	修复对位精度	0.1um		减震	主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动
光学特性	光路系统倍率：	50X~ 1000X
		5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects		工业PC	23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G独立显卡，DVD-ROM
	光学分辨率	0.7um
	物镜切换速度	0.2~0.7s		通讯接口	RS232/EtherCAT/GPIB等
	切换镜头偏差	小于3um		安全	整机带屏蔽罩，操作人员在屏蔽罩外操作
	聚焦	激光自动聚焦			紧急开关EMO
	相机	200万像素			限位sensor，运动平台和激光系统限位互锁
照明		平台有下光源，并且能够上下光源切换，屏蔽罩内安装照明，照度达到1000lux以上。			Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选)
应用方向		TFT-LCD 和 OLED Array Panel 布线开路和短路的修复,Mask 的缺陷修复

特点：
稳定的修复结果			功能丰富的软件
超高的修复精度			可以编辑修复形状
0.1um精度的直线电机平台			自动AOI定位
极小的损伤			可做多工位设计
1um的激光精度			自动上下片